苏州友言机电工程有限公司

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    上饶无尘室工程施工

    author:苏州友言机电工程有限公司

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    time:2019-10-16 10:01:03

    附图6-15点布置测点3对于单向流洁净室,采样口应对着气流方向,对于乱流洁净室,采样口宜向上。采样速度均应尽可能接近室内气流速度4洁净度测点布置原则是(1)多于5点时可分层布置,但每层不少于5点(2)5点或5点以下时可布置在离地08m高平面的对角线上(附图61),或该平面上的两个过滤器之间的地点,也可以在认为需要布点的其他地方。注∶室內洁净度的检测也可根据建设单位或设计的要求,按现行国家标准《洁净厂房设计规范》GBJ73附录二的规定执行。六、室内浮游菌和沉降菌的检测1室内浮游菌测点和洁净度测点可相同;采样必须按所用仪器说明书说明的步骤进行,特别要注意检测之前对仪器消毒灭菌。2沉降菌测定时,培养皿应布置在有代表性的地点和气流扰动极小的地点,培养皿数可与按附表61确定的采样点数相同,但培养皿最少数量应满足附表6.3的规定。

    表63最少培养皿数附洁净度级别所需90培养皿数(以沉降0.5h计)高于100级00级1000级10000级100000级七、室內空气温度和相对湿度的检测1室内空气温度和相对湿度测定之前,净化空调系统应已连续运行至少24h。对有恒温要求的场所根据对温度和相对湿度波动范围的要求,测定宜连续进行8~48h,每次制定间隔不大25于30mib2根据温度和相对湿度波动范围,应选择相应的具有足够精度的仪表进行测定3室内测点一般布置在以下各处(1)送、回风囗处;(2)恒温工作区内具有代表性的地点(如沿着工艺设备周围布置或等距离布置)3)室中心(没有恒温要求的系统,温、湿度只测此一点);(4)敏感元件处。面个斤有测点宜在同—高度,离地面08m。

    也可以根据恒温区的大小,分别布置在离地不同高度的几个平测点距外墙表面应大于05m4测点数按附表64确定。64温、湿度测点数附表波动范围室面积50n2每增加20~50m2增加3~55~10%RI0.5点间距不应大于2m,点数不应少于5个SORIL。

    无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
    无尘室洁净室 (3).jpg

    无尘室概述

    无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

     

    无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。

     

    如表所示,每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。

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