苏州友言机电工程有限公司

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    上饶净化房

    author:苏州友言机电工程有限公司

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    time:2019-10-15 13:01:43

    16设计文件或设计变更的证明文件及有关协议和竣工图二、主要材料、设备和调节仪表的出厂合格证书或检验文件三、单位工程、分部分项工程质量自检检验评定表四、开工、竣工报告,土建隐蔽工程系统和管线隐蔽工程系统封闭记录,设备开箱检查记录,管道压力试验记录,管道系统吹洗(脱脂)记录,风管漏风检查记录,中间验收单和竣工验收单;五、各单机试运转、系统联合试运转和第52.5条所列项目的调整检测记录。第527条竣工验收终了应作结论。第三节综合性能全面评定第53.1条综合性能全面评定的性能检测应由有检测经验的单位承担,必须用符合要求的、经过计量检定合格并在有效期内的仪表,按本规范的方法检测,最后提交的检测报告应符合本规范的有关规定。

    第5.32滎综合性能全面评定检测项目应按表532中排定的内容顺序确定,检测工作在系统调整好至少运行24h之后再进行。第53.3条综合性能全面评定检测进行之前,必须对洁净室和净化空调系统再次全面彻底清扫,但严禁使用一般吸尘机吸尘。清扫后由身着洁浄工作服的人员擦拭表面,凊洗剂可根据场合选用纯水、有机溶剂、中性洗涤剂和自来水,有防静电要求旳,最后宜用沾有防静电液的抹布擦一遍。第5.34条综合性能检测时,建设、设计、施工单位均须在场配合、协调单向流(层流)乱流洁净室序号项目法净度洁净度100级及低高于100级于100级1000级室内送风量,系统总新风量(必要时系统总送风量),有排风时的室内排风量检测静压差检测23456截面平均风速检测不测截面风速不均匀度检测必要时测不测洁净度级别检测浮游菌和沉降菌必要时测室内温度和相对湿度检测8室温〔或相对湿度))动范圃和区域温差必要时测室内噪声级检测室内倍频程声压级必要时测o12室内照度和照度均匀度检测室内微振必要时测13表面导静电性能必要时测室内气流流型不测必要时测456流线平行性检测必要时测不测自净时间不测必要时测必要时测。

    无尘室概述

    无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

    无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。

    无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
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    每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。


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